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PECVD管式炉炉体及炉膛结构
  • 发布日期:2018-07-24     信息来源:公司新闻      浏览次数:602
    • PECVD管式炉炉体及炉膛结构

      PECVD管式炉设计和采用先进的技术是炉体外观新颖、结构合理。外壳采用国标钢材,其外壳喷塑具有耐温、耐久、耐氧化、耐酸、耐缄等优点;精心搭配颜色是产品美观大方和耐用!炉膛材料全部采用进口摩根纤维制作而成,炉膛是几块耐火纤维块拼装而成,大大避免了急冷急热裂缝的现象管式电炉发热元件选用。
       
      硅钼棒(分布在炉膛的左右)
      硅钼棒电热元件是一种以硅化钼为基础的电阻发热元件。烧结的硅化钼制品在氧化气氛下加热到高温,其表面生成一层致密的石英玻璃膜,它可保持制品不在氧化。因此硅钼棒元件具有独特的高温抗氧化性。在氧化气氛下高使用温度为1750℃。硅钼棒元件的电阻不随使用时间的长短而改变(电阻随温度的升高而增大),也就是不老化,因此新旧元件可以混合使用。硅钼棒元件的机械性制和其他陶瓷制品一样,在常温下属于脆性材料容易断裂,但使用得当和安装合理是可以避免的。
       
      PECVD管式炉硅碳棒(分布在炉膛的左右或者四周)
      碳棒是选用绿化优质碳化硅材料为主要原料,经轻加工制呸、高温硅化、在结晶而成的棒状的非金属高温电热元件。该元件与金属电热元件相比,具有使用温度高、抗氧化、耐腐蚀、寿命长、变形微、安装维修方便等优点。硅碳棒具有较大的比电阻,在空气中加热,发热部表面温度可以达到1450℃;从室温到800℃为负值,800℃以上为正值特性曲线。硅碳棒具有良好的化学稳定性,酸对其无作用,但碱和碱土金属氧化物在一定的温度条件下对其有侵蚀作用。
       
      高温下,水蒸气、氢气、卤素、硫等对其也有氧化和侵蚀作用。为炉温和棒承受负荷均匀,安装前必须进行配阻,保持电阻一致±10%;电炉长期使用过程中,个别棒由于其它原因而损坏需要更换时,要根据当时阻值的增长情况,选补阻值适宜的棒,不可任取新棒更换。若棒损坏的较多或阻值增长过大,无法达到达到所需的炉温时更换成新棒。换下来的棒重新测量其电阻值。

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